微電子行業(yè)使用風(fēng)淋室和普通的風(fēng)淋室結構原理
微電子行業(yè)使用的風(fēng)淋室跟普通場(chǎng)所用的風(fēng)淋室除了部分細節方面的設置以外,總體結構原理基本相同,微電子行業(yè)使用的風(fēng)淋室對除塵效果要求相對會(huì )更高的一些,如果一個(gè)小的部件做不到位,那可能帶來(lái)的就無(wú)法估量了,在這里簡(jiǎn)單說(shuō)一下風(fēng)淋室的結果原理。
1、概述:風(fēng)淋室是潔凈廠(chǎng)房和裝配式潔凈室的設備,用于吹除進(jìn)入凈化廠(chǎng)房的人體和攜帶物品表面附著(zhù)的塵埃,同時(shí)風(fēng)淋室也起到氣閘的作用,防止未經(jīng)凈化的空氣進(jìn)入潔凈區域,是進(jìn)行人體凈化和防止外空氣污染潔凈區的有效設備。
結構:系列風(fēng)淋室均采用發(fā)泡隔熱彩色壁板及鋁合金構件裝備而成,配置離心機風(fēng)機及初效和高效空氣過(guò)濾器,具有外型美觀(guān)、結構緊湊、檢修方便、操作簡(jiǎn)單等特點(diǎn)。
2、原理:風(fēng)淋室內的空氣由風(fēng)機的作用經(jīng)初效過(guò)濾器進(jìn)入靜壓箱,經(jīng)高效空氣過(guò)濾器過(guò)濾后,潔凈空氣從風(fēng)淋室的噴嘴高速?lài)姵?,噴嘴角度可調節,可有效地吹除人特或攜帶物品表面附著(zhù)的塵埃,吹下的塵埃再回收進(jìn)入初效空氣過(guò)濾器,如此循環(huán)可以達到風(fēng)淋的目的。
3、用途及特點(diǎn):風(fēng)淋室是操作人員進(jìn)入潔凈室時(shí)使用的人身凈化裝置,它利用高速潔凈氣流吹淋除掉進(jìn)入室內人員身上的污物,其噴嘴可調節,以便有效除去人身上的灰塵,并阻止外界污染進(jìn)入潔凈區域。它也可應用于大件貨物的吹淋。
4、設備組成:主要由室體、照明、過(guò)濾系統、風(fēng)機組、吹嘴、電控等部分組成。
(1)、室體:壁板采用彩鋼保溫板,其內外板均為彩鋼板,中間填充60mm厚聚苯乙烯材料,PU發(fā)泡連續成型;內外板與保溫材料整體壓制而成一體。人員進(jìn)出大門(mén)尺寸為(寬×高)mm:700×1800。(2)、室內照明:在室體的頂部安裝照明燈,燈管采用飛利浦高效光源,既安全又節能且維護方便,鎮流器采用噴房專(zhuān)用鎮流器,保證光強≥500Lx。
(3)、送排風(fēng)系統:
a、送排風(fēng)的配置方案采用1套送風(fēng)機組,配置一臺送風(fēng)機,風(fēng)機采用離心風(fēng)機。采用1套排風(fēng)機組為室體排風(fēng)。
b、萬(wàn)向吹嘴:室內空氣采用設置在室體頂部和側面的萬(wàn)向吹嘴吹向操作人員的不同角落,確保潔凈質(zhì)量。
c、控制系統:采用進(jìn)口或合資元器件使整個(gè)控制系統具有較高的可靠性。